| 초록 |
본 발명은 바이오센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오센서는 기판, 기판 양측에 서로 이격되어 형성된 소스/드레인, 소스/드레인 사이의 기판상에 형성된 게이트 및, 기판과 게이트 사이에 형성되고, 바이오 물질이 고정되는 공간으로서 기판의 채널영역 일부분이 노출되도록 식각되어 형성된 나노갭을 갖는 게이트 절연층을 포함하는 전계효과 트랜지스터, 게이트에 펄스 전압을 인가하는 제1 전압 공급부, 소스/드레인에 일정한 전압을 인가하는 제2 전압 공급부 및, 기판에 흐르는 차지펌핑전류를 측정하고, 측정된 차지펌핑전류를 이용하여 전계효과 트랜지스터의 전기적 특성 변화를 측정하는 바이오 검출부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 현재의 CMOS 공정기술을 이용하여 반복 재현성이 높은 나노갭을 갖는 FET 구조를 제공할 수 있으며, 이에 따라 종래의 바이오센서 소자에 비해 그 크기가 줄어들고 바이오 물질의 변화에 따른 소자의 전기적 특성 민감도가 증가하여 더욱 향상된 바이오 물질의 검출이 가능하다. |
