| 초록 |
본 발명은 반도체 일관공정을 이용한 표면 미세가공 공정으로 실리콘 기판에 매립된 깊이가 깊은 고밀도의 극미세 마이크로채널 어레이(microchannel array)를 가지며, 표면이 평탄한 형상을 가지고, 더 나아가서는 그 평탄한 표면 상에 고효율의 마이크로 히터 또는 전극 구조를 가지는 마이크로채널 어레이 구조체 및 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 마이크로채널 어레이 구조체는 깊이가 깊고 고밀도의 극미세 마이크로채널을 가질 뿐만 아니라 표면 미세가공 공정에 의하여 제조되므로 하부 실리콘 기판의 물리, 화학적 특성에 거의 영향을 미치지 않는다. 그리고 기판에 매립되어 마이크로채널 어레이 구조체 상부가 평탄화됨으로써 단차의 영향이 최소화되어 그 상부 영역에 반도체 일관공정으로 수동소자, 센서, 액츄에이터, 전자소자 등 부가적인 구조를 용이하게 집적화할 수 있다. 본 발명에 의한 마이크로채널 어레이 구조체는 바이오 칩(bio chip), 미세 유체부품 및 분석기기, 랩-온-칩(lab-on-a-chip), PCR(polymerase chain reaction) 증폭장치, 미세 반응기(micro reactor), 약물전달 장치(drug delivery system) 등의 유체 미세기전소자 (MEMS: microelectromechanical system) 소자와 전자부품 냉각장치의 초소형화, 고성능화 구현을 위한 기본적인 유체 플랫포옴(platform)으로 사용될 수 있다. |
