고해상도 패턴 형성 방법, 유기 발광 소자 제조용 공정 및 전계-효과 트랜지스터 제조용 공정
기관명 | NDSL |
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출원인 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 |
출원번호 | 10-2005-7020990 |
출원일자 | 2005-11-04 |
공개번호 | 20080509 |
공개일자 | 2007-11-05 |
등록번호 | 10-0773014-0000 |
등록일자 | 2007-10-29 |
권리구분 | KPTN |
초록 | 본 발명은 인쇄 기술에 의해 유기 및/또는 비유기 또는 생물학적 분자를 패터닝하는 방법에 관한 것으로, 이는 이들 층을 사용하는 반도체 소자, 회로, 센서, 생물학적 패턴, 바이오칩 및 디스플레이를 위한 것이다. 하나 이상의 유기 분자, 올리고머 또는 미세 입자의 종류 또는 혼합물(22)을 상변화 전달 재료(24)에 추가한다. 얻어낸 혼합물(20) 또는 그 일부는 상변화 재료의 용해 온도까지 가열하고 예를 들어 풀-컬러 디스플레이용 박막 트랜지스터와 같은 기판 상으로 증착한다. 이 가열한 혼합물(21)은 기판에 도달하는 즉시 응고된다. 그 후, 상변화 재료를 승화에 의해 제거하며 유기 및/또는 비유기 또는 생물학적 분자는 기판 상에 남는다. 이 증착은 서로의 상부에 복수의 층을 주조하기 위해 반복할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020057020990 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H05B-033/10,H01L-051/40,H01L-021/02,C30B-001/00 |
주제어 (키워드) |