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플라즈마 애플리케이션용 대면적 ICP 소스

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기관명	NDSL
출원인	인테벡, 인코포레이티드
출원번호	10-2012-0052666
출원일자	2012-05-17
공개번호	20121130
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	유도 결합 플라즈마 챔버용 RF 에너지를 커플링하기 위한 어레인지먼트이다.RF 코일 또는 RF 라디에이터는 챔버의 천장에 형성된 홈에 임베딩되고, 절연 필러가 홈 내의 코일을 커버한다. 천장은 2 개의 플레이트들: 도전성 재료로 형성된 상부 플레이트 및 유전체 재료로 형성된 하부 플레이트로 형성될 수도 있다. 2 개의 플레이트들은 물리적으로 접촉하고 있다. 코일로부터의 자기장의 확산을 제어하기 위해 코일 위의 자기 쉴드가 제공될 수도 있다. 열 제어를 제공하기 위해 도전성 플레이트 내에 유체 채널들이 제조될 수도 있다. 또한, 금속 플레이트와 유전체 플레이트 사이의 공간으로 가스를 주입하도록 허용하기 위해 유체 도관이 제공될 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020120052666
첨부파일

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