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분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법

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기관명	NDSL
출원인	단국대학교 산학협력단
출원번호	10-2011-0053418
출원일자	2011-06-02
공개번호	20121214
공개일자	2013-05-13
등록번호	10-1261495-0000
등록일자	2013-04-30
권리구분	KPTN
초록	일 실시 예에 따르는 분광학적 타원해석법을 이용하는 타겟박막층의 밴드 갭 및 물리적 결함 측정 방법은 먼저 기판 및 상기 기판 상에 배치되는 타겟박막층을 포함하는 타겟물질을 준비한다. 타원해석기를 이용하여 상기 타겟물질에 편광된 광을 입사하고 상기 타겟물질로부터 반사되는 광의 엘립소메티리 측정값 (Δ,Ψ)을 획득한다. 상기 측정값 (Δ,Ψ)에 대하여 코시 함수를 이용하는 모델링을 수행하여 상기 타겟박막층의 두께를 산출한다. 상기 측정값 (Δ,Ψ)에 대한 상기 기판의 기여분을 제거한 결과 및 상기 산출된 상기 타겟박막층의 두께를 이용하여 상기 타겟박막층의 흡수 계수 그래프를 추출한다. 상기 흡수 계수 그래프과 피팅(fitting)을 이룰 수 있는 피팅 모델 함수를 결정한다. 상기 피팅 모델 함수와 상기 측정값 (Δ,Ψ)을 비교하여 피팅의 부합여부를 결정한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020110053418
첨부파일

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