| 초록 |
본 발명의 과제는 시료가 탑재되는 기판(기재)의 원소와, 시료에 포함되는 원소가 동일해도, 안정적으로, 미소 부분의 성분 계측이 가능한 미소부 X선 계측 장치를 제공하는 것이다. X선 발생 장치와, 방출되는 X선을 50㎛ 직경 이하의 단면적에 수렴 조사하는 X선 광학 소자와, 형광 X선을 검출하는 X선 검출기와, 광학상을 촬상 가능한 광학 현미경과 화상 인식 기능을 구비하고, 시료를 2차원에서 이동하여 위치 결정이 가능하고, 또한 높이 방향으로 그 위치 조정이 가능한 시료 상대 이동 기구를 구비하고, 시료의 특정 위치에 있어서의 형광 X선 계측이 가능하고, 또한 기재 상에 놓인 측정 시료로부터의 형광 X선도 계측 가능한 미소부 X선 계측 장치에서는 X선의 조사 위치와 상기 X선 검출기 사이의 형광 X선의 광로를 형광 X선의 감쇠를 억제하는 구조(진공 또는 헬륨 치환)로 하고, 또한 기재 상의 측정 시료가 기재와 동일한 금속 원소를 포함해도, 측정 시료의 동일한 금속 원소의 함유가 판정 가능한 데이터 처리 기능을 구비한 데이터 처리부를 구비하고 있다. |
