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메탈라이즈드 세라믹 기판의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시끼가이샤 도꾸야마
출원번호	10-2012-7020103
출원일자	2012-07-30
공개번호	20130111
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	포스트파이어법에 의한 파인(fine) 패턴 형성 방법을 제공한다.세라믹 기판 상에, 유기 하지층(下地層)을 형성하는 제1 공정, 당해 유기 하지층 상에 금속 페이스트층을 형성해서, 메탈라이즈드 세라믹 기판 전구체를 제작하는 제2 공정, 및, 당해 메탈라이즈드 세라믹 기판 전구체를 소성하는 제3 공정을 포함하는 메탈라이즈드 세라믹 기판의 제조 방법에서, 유기 하지층이, 금속 페이스트층 중의 용매를 흡수하며, 금속 페이스트층을 소성하는 온도에서 열분해하는 층으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020127020103
첨부파일

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