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반도체 소자의 오버레이 측정설비

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기관명	NDSL
출원인	삼성전자주식회사
출원번호	10-2004-0078200
출원일자	2004-10-01
공개번호	20080509
공개일자	2006-03-13
등록번호	10-0558572-0000
등록일자	2006-03-02
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 반도체 소자의 오버레이 정도(精度)를 측정하는 오버레이 측정설비에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은 예방 보전 웨이퍼(PREVENTIVE MAINTENANCE WAFER)를 이용하지 않고 오버레이 측정설비 자체의 컨디션을 측정하기 위한 것으로써 테이블, 평판부, 렌즈 및 다중필터를 포함한다. 테이블에는 오버레이 마크가 형성된 웨이퍼가 놓여진다. 평판부는 상기 테이블 주위에 설치되며 오버레이 측정설비의 컨디션 검사를 위해 오버레이 마크가 형성된다. 렌즈는 상기 테이블 상부에 설치되고 입사되는 빛을 모으거나 발산시켜 광학적 상(像)을 맺게 한다. 다중필터는 상기 테이블과 렌즈 사이에 설치되고 웨이퍼 표면 상태에 따라 광원의 파장을 조정한다. 본 발명에 의하면 오버레이 측정설비 자체에 오버레이 마크를 구비하고 있기 때문에 예방 보전 웨이퍼의 관리가 필요치 않고 양산 웨이퍼의 손실을 방지하는 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020040078200
첨부파일

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