| 초록 |
본 발명의 가이드 롤의 물리 증착 도금방법은 표면오염 및 정전기처리가 완료된 소재를 제1 보조장치에 위치시키는 단계(S11); 이송을 위해 제1 진공밸브(a)를 열고 가이드 롤을 캐리어로 로드 락 챔버에 장입한 후 제2 진공밸브(b)를 차단하는 단계(S12); 장입 완료되면 저 진공 펌프를 이용하여 1차 진공배기(~10 -2 Torr)하는 단계(S13); 도금을 위해서 저 진공펌프 및 고 진공 펌프를 가동하여 클리닝 및 히팅 챔버 내부를 10 -5 Torr 이하가 될 때까지 압력을 낮추는 단계(S14); 압력이 낮아지면 제2 진공밸브(b)를 열고, 상기 가이드 롤을 상기 클리닝 및 히팅 챔버 내부로 이동시키는 단계(S15); 상기 로드 락 챔버와의 압력차이 때문에 진공도가 상승하여 10 -5 Torr 이하가 될 때까지 일정시간 유지하는 단계(S16); 상기 클리닝 및 히팅 챔버 내부에서는 결합력을 높이기 위하여 이온 건을 이용하여 상기 가이드 롤의 알루미늄산화막을 제거하고, 히터를 이용하여 도금하기 좋은 온도로 예열하는 단계(S17); 도금 전처리가 완료되면, 제3 진공밸브(c)를 열고 상기 가이드 롤을 제1 진공 챔버 내부로 이동시켜서 1차 도금을 하는 단계(S18); 제4 진공밸브(d)를 열고 1차 도금 처리가 완료된 상기 가이드 롤을 제2 진공 챔버 내부로 이동시켜서 2차 도금을 하는 단계(S19); 도금 공정이 완료되면, 제5 진공밸브(e)를 열고 쿨링 챔버로 이동시킨 후, 도금공정에서 가열된 상기 가이드 롤을 냉각시키는 단계(S20); 제6 진공밸브(f)를 열고 상기 가이드 롤을 언 로드 락 챔버로 이동시킨 후, 저 진공 상태로 일정시간 유지시키는 단계(S21); 벤트 밸브를 열어 대기의 공기를 언 로드 락 챔버로 내부로 투입시켜 대기의 압력과 동일하게 하는 단계(S22); 및 제7 진공밸브(g)를 열고 상기 가이드 롤을 제2 보조장치로 이동시켜서 최종 도금완료된 가이드 롤을 얻는 단계(S23);를 구비한다. 본 발명은 다수의 진공 챔버 내에서 이온클리닝 및 스퍼터링을 실시하여 도금 층을 형성함으로써, 습식 도금에서와 같은 크랙발생이 없는 우수한 도금 층을 얻을 수 있고, 환경에 유해한 폐기물이 발생하지 않고, 단순한 공정에 의해 생산성을 향상시킬 수 있으며, 제작비용을 줄일 수 있어 매우 경제적인 효과가 있다. |
