| 초록 |
본 발명은 각종 전자기기로부터 발생하는 유해전자파의 차폐재, 에너지관련 산업, 환경산업, 전자산업, 정보통신 등과 같은 최첨단 산업분야에 사용할 수 있음은 물론, 카본 마이크로 코일 표면에 막을 코팅함으로서, 반도체소자, 자기장센서, 항공/우주산업 등의 선진복합재료 등의 폭넓은 활용이 가능하도록 한 카본 마이크로 코일을 제공하고자 하는 화학기상증착법을 이용한 카본 마이크로 코일 제조방법에 관한 것으로서, 그 구성은, 상부에 가스주입구가 형성되어 있고, 하부에 가스배출구가 형성된 석영재질의 진공관 내부에 금속분말이 표면 코팅된 기판을 설치하는 단계; 상기, 기판이 설치된 진공관의 외부를 600∼900℃의 온도로 가열하는 단계; 상기 가열이 이루어진 진공관의 가스주입구를 통하여 아세칠렌(C 2 H 2 ), 수소(H 2 ), 질소(N 2 ), 티오펜(C 4 H 4 S), 황화수소(H 2 S)를 동시에 연속적으로 공급하고 가스배출구를 통하여 배출하면서 상기 기판 상에 카본 마이크로 코일을 성장시키는 단계;로 이루어진다. |
