| 초록 |
본 발명은 기기에 통합시키기에 적합한 강유전 특성을 갖는 강유전 결정 산화물 박막 특히, PbZr x Ti 1 - x O 3 (PZT)의 저온 (PZT에 있어서는, 2 B 2 O 6 ), 페로브스카이트 (ABO 3 ), 피로클로어 (A 2 B 2 O 7 ) 및 비스무스-층 (Bi 4 Ti 3 O 12 ) 구조의 강유전 박막의 제조에 적합하며, 상기에서 A 및 B는 일가, 이가, 삼가, 사가 및 오가 이온이다.본 방법은 시딩된 이상 졸 겔 (SDSG) 전구체와 광화학 용액 증착법 (PCSD)의 조합에 기초하며, 하기 주요 단계를 포함한다: i) UV 파장 범위에서 큰 광감성의 요망되는 금속 산화물 조성의 개질된 금속-유기 전구체 용액을 합성하는 단계; ii) 상기 전구체 졸로부터 수득되는 결정성 화합물과 유사하거나 상이한 요망되는 조성물의 나노입자를 졸 겔 공정에 의해 제조하는 단계; iii) 안정하고 균질한 졸-겔 기재 현탁액을 제조하기 위해 전구체 졸에서 이전의 결정성 나노입자를 분산시키는 단계; iv) 기판상으로 상기 현탁액을 증착시키는 단계; v) 증착된 층을 공기 또는 산소중에서 UV 조사시키고, 400℃ 미만의 온도하에 산소 또는 공기중에서 조사된 층을 열 처리하는 단계.본 발명은 단일 결정, 다중결정, 무정형, 금속 및 폴리머 기판상에 조밀하고 균열이 없는 50nm 초과 내지 800nm 미만의 두께를 가지며, 최적화된 특성을 가지며, 마이크로전기 및 광학 산업에 적용되는 다중결정 강유전, 압전, 초전 및 유전 박막을 저온하에서 제조하는 방법을 제공한다. |
