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저압 물리적 기상 증착(PVD) 프로세스를 위한 개선된 플라즈마 점화 성능

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기관명	NDSL
출원인	노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드
출원번호	10-2012-7007124
출원일자	2012-03-19
공개번호	20120518
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라즈마 점화 시스템이 제공되며, 플라즈마 점화 시스템은 물리적 기상 증착(PVD) 시스템의 어댑터 링과 캐소드 타겟 양쪽에 걸쳐 플라즈마 점화 전압과 플라즈마 유지 전압을 선택적으로 공급하는 제 1 전압 서플라이를 포함한다. 제 2 전압 서플라이는 PVD 시스템의 어댑터 링과 애노드 링 양쪽에 걸쳐 제 2 전압을 선택적으로 공급한다. 플라즈마 점화 제어 모듈은 플라즈마 점화 전압과 보조 플라즈마 점화 전압을 사용하여 플라즈마를 점화시키고, 플라즈마가 점화된 이후, 플라즈마 유지 전압을 공급하며, 플라즈마 점화 전압과 보조 플라즈마 점화 전압의 공급을 정지시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020127007124
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