| 기업공감원스톱서비스

기판 처리 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
출원번호	10-2012-0041363
출원일자	2012-04-20
공개번호	20120810
공개일자	2013-08-14
등록번호	10-1297131-0000
등록일자	2013-08-07
권리구분	KPTN
초록	제품의 품질 저하 및 장치의 손상을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치(10) 상에서 동작하는 제어 프로그램(40)에 있어서, 레시피 기억부(408) 및 파라미터 기억부(410)는, 제어에 관한 데이터를 기억하는 데이터 기억 수단을 구성한다. 권한이 있는 사용자가 인증 처리에 의하여 인증되면, 해당 사용자는 편집 화면을 개재하여 데이터의 편집 조작을 한다. 설정부(406)는, 상기 데이터 기억 수단에 의해 기억되고 있는 데이터를 편집하기 위한 조작을 UI 장치(20)를 개재하여 받아들인다. 계시부(416)는, 설정부(406)에 의해 받아들여진 조작 사이의 시간을 계측하여 조작 제어부(414)에 대하여 출력한다. 조작 제어부(414)는, 계시부(416)에 의해 계측된 시간이 소정 시간을 초과한 경우, 데이터를 편집하기 위한 조작의 접수를 금지한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120041363
첨부파일

기업조회