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루테늄(Ru)폐타겟을 이용한 루테늄(Ru) 분말 및 루테늄(Ru) 타겟 재료 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	희성금속 주식회사
출원번호	10-2009-0131061
출원일자	2009-12-24
공개번호	20110713
공개일자	2012-05-22
등록번호	10-1143860-0000
등록일자	2012-05-01
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 루테늄(Ru) 폐타겟을 이용한 루테늄(Ru) 분말 및 루테늄(Ru) 타겟 재료의 제조방법에 관한 것으로, 종래의 습식법을 이용하여 제조시 분말제조에 복잡한 공정이 적용되어 비용이 높고 제조시간도 장시간이라는 단점을 극복하기 위해 고안된 것이다. 이를 개선하기 위해서, 루테늄(Ru) 폐타겟의 표면을 화학적 또는 물리적인 방법에 의해 표면을 세정하고, 세정처리된 루테늄(Ru) 폐타겟에 플라즈마를 이용하여 건식 루테늄(Ru) 분말을 제조한 후, 분쇄 및 분급을 통해 미세한 분말을 제조하고, 대기열처리 및 수소열처리를 통해 최종 고순도의 루테늄(Ru) 분말을 제조하고, 일정사이즈의 몰드에 분말을 충진 후 고온가압소결을 통해 고밀도의 루테늄(Ru) 타겟 재료를 얻는 것을 목적으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020090131061
첨부파일

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