외기 차단 용기 및 감압 처리 장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | , |
출원번호 | 10-2011-0055193 |
출원일자 | 2011-06-08 |
공개번호 | 20111219 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | (과제) 합성 수지제의 O 링은, 대기 분위기에서 150 ℃ 이상의 고온이 되면, 열분해를 일으켜 기밀성을 유지할 수 없게 되는 것이 관측되었다. (해결 수단) 처리 용기와 덮개체를 기밀 봉지하는 O 링의 외기측으로, 불활성 가스를 흘림과 함께, O 링의 외기측으로 형성되는 기체 통로를 봉지 커버에 의해 덮는 구성의 외기 차단 용기가 얻어진다. 또한, O 링의 접촉면에 산화알루미늄층을 형성함으로써, O 링의 열분해 온도를 상승시킬 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020110055193 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/02,H01L-021/205,H01L-021/3065 |
주제어 (키워드) |