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플라즈마 이상 방전 진단 방법, 플라즈마 이상 방전 진단 시스템 및, 컴퓨터 프로그램이 수록된 컴퓨터 판독가능 기록매체

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2008-7031948
출원일자	2008-12-30
공개번호	20090608
공개일자	2010-10-29
등록번호	10-0990845-0000
등록일자	2010-10-25
권리구분	KPTN
초록	플라즈마의 상태에 수반하여 변동하는 시계열 데이터를 취득하는 데이터 취득부(21)와, 데이터 취득부(21)에서 취득한 시계열 데이터로부터, 플라즈마에 있어서의 시계열 데이터가 결정론적인지 확률론적인지의 지표가 되는 결정론성을 나타내는 값을 산출하는 병진 오차(translation error) 연산부(24)와, 상기 플라즈마 발생 중에, 상기 결정론성 도출 수단에서 산출된 결정론성을 나타내는 값이, 소정의 문턱값 이하인 경우에, 상기 플라즈마가 이상(abnormal) 방전 상태라고 판정하는 이상 방전 판정부(26)를 구비한다.결정론성을 나타내는 값은, 예를 들면, 병진 오차 또는 순열 엔트로피를 이용할 수 있다.결정론성을 나타내는 값으로서 순열 엔트로피를 이용하는 경우는, 순열 엔트로피 연산부를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020087031948
첨부파일

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