| 초록 |
본 발명은 고압가스 압력 저감을 위한 고압가스 압력 저감을 위한 열진공챔버용 상분리기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 하나의 LN2 저장탱크에서 배출된 저압 또는 고압의 LN2를 공급받아 우주환경을 모사하는 다수의 열진공챔버에 있어서, 저압의 LN2를 사용하는 열진공챔버 및 고압의 LN2를 사용하는 열진공챔버가 동시에 가동될 수 있도록 LN2 저장탱크와 저압의 LN2를 사용하는 열진공챔버의 사이에 마련되어 LN2 저장탱크에서 저압의 LN2를 사용하는 열진공챔버로 공급되는 고압의 LN2를 저압의 LN2로 감압하는 본체와, 본체 내부에 LN2의 유입을 제어하는 제1뉴매틱밸브와, 본체의 내부압력을 조절하는 제2뉴매틱밸브와, 본체에서 감압된 LN2를 저압의 LN2를 사용하는 열진공챔버로 배출하는 제3뉴매틱밸브를 구비한다. 본 발명에 의하면, 하나의 LN2 저장탱크로부터 공급된 LN2를 가지고 다수의 저압 또는 고압의 LN2를 사용하는 열진공챔버를 동시에 가동할 수 있어 보다 효율적으로 열진공챔버를 운영할 수 있다. |
