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압입시험기를 이용한 박막의 물성측정 방법

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기관명	NDSL
출원인	한국기계연구원
출원번호	10-2003-0035137
출원일자	2003-05-31
공개번호	20080509
공개일자	2006-04-05
등록번호	10-0567847-0000
등록일자	2006-03-29
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 재료 물성 측정 기술에서 모재(SUBSTRATE)의 영향없이 압입시험기를 이용하여 박막 자체의 물성을 측정하는 방법에 관한 것으로서, 모재 위에 박막을 증착시키는 단계와, 상기 모재의 일부분을 원형 또는 사각형 형상으로 제거하는 단계와, 상기 박막에 압입 시험을 수행하여 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와, 상기 측정된 변위와 하중 데이터를 이론식에 적용하여 박막의 물성을 도출하는 단계를 포함하여 구성되므로, 박막을 이용하는 반도체 공정, 바이오 산업, 나노 공정, 공작 기계 제조 등에 손쉬운 박막의 물성 측정 방법을 제공하며, 박막 공정을 기반으로 하는 각종 제품의 설계, 신뢰성 평가 및 제품의 질 향상에 도움을 주는 압입시험기를 이용한 박막의 물성측정 방법을 제공하는 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020030035137
첨부파일

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