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프로세스 가스 제어 밸브의 부착물 제거 방법 및 프로세스 가스 제어 밸브의 제어 장치

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기관명	NDSL
출원인	씨케이디 가부시키 가이샤
출원번호	10-2006-0112563
출원일자	2006-11-15
공개번호	20080509
공개일자	2012-11-07
등록번호	10-1197080-0000
등록일자	2012-10-29
권리구분	KPTN
초록	밸브 좌와 밸브 본체에 부착된 부착물을 단시간에 제거하고, 프로세스 가스 제어 밸브가 발생하는 소립자를 감소함과 동시에, 유체누출을 방지할 수 있는 프로세스 가스 제어밸브의 부착물 제거방법 및 프로세스 가스 제어 밸브의 제어 장치를 제공한다. 밸브 본체(22)를 밸브 좌(6)에 접하거나 멀리 떨어지는 것에 의하여 프로세스 가스의 공급을 제어하는 프로세스 가스 제어밸브(1)에 퍼지 가스를 흘리고, 밸브 본체(22)를 밸브 좌(6)에 반복하여 충돌시킨다.그때, 프로세스 가스 제어 밸브(1)의 바디(2)를 히터(30)로 가열해도 좋다.또한, 상기 프로세스 가스 제어 밸브(1)의 부착물 제거방법을 실행하는 부착물 제거수단(37)을 가지는 제어 장치(31)를 프로세스 가스 제어 밸브(1)에 접속해도 좋다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020060112563
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