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특허/실용신안

플라즈마 처리장치

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
출원번호 10-2012-0110648
출원일자 2012-10-05
공개번호 20140417
공개일자 2014-07-04
등록번호 10-1414170-0000
등록일자 2014-06-25
권리구분 KPTN
초록 본 발명의 플라즈마 처리장치는, 플라즈마 처리대상소재의 플라즈마 처리를 위한 통과 경로가 반응기 내에서 직선형 홀과 직선형 홀 사이를 연결하는 구부러진 연결관을 갖도록 하고, 반응기 내로 공급되는 처리대상소재의 공급량을 조절하는 것이 가능하다. 본 발명에 따르면, 플라즈마 처리대상소재의 방전처리 노출시간을 증대시킴으로써, 보다 균일하고 일정한 전기적 및 물리적 특성의 변환이 가능한 소재의 생산이 이루어질 수 있도록 할 뿐만 아니라, 생산자가 원하는 정도의 전기적 및 물리적 특성의 변환을 위한 다양한 조절 및 장치의 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120110648
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H05H-001/34,B82Y-030/00
주제어 (키워드)