플라즈마 처리장치
기관명 | NDSL |
---|---|
출원인 | 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 |
출원번호 | 10-2012-0110648 |
출원일자 | 2012-10-05 |
공개번호 | 20140417 |
공개일자 | 2014-07-04 |
등록번호 | 10-1414170-0000 |
등록일자 | 2014-06-25 |
권리구분 | KPTN |
초록 | 본 발명의 플라즈마 처리장치는, 플라즈마 처리대상소재의 플라즈마 처리를 위한 통과 경로가 반응기 내에서 직선형 홀과 직선형 홀 사이를 연결하는 구부러진 연결관을 갖도록 하고, 반응기 내로 공급되는 처리대상소재의 공급량을 조절하는 것이 가능하다. 본 발명에 따르면, 플라즈마 처리대상소재의 방전처리 노출시간을 증대시킴으로써, 보다 균일하고 일정한 전기적 및 물리적 특성의 변환이 가능한 소재의 생산이 이루어질 수 있도록 할 뿐만 아니라, 생산자가 원하는 정도의 전기적 및 물리적 특성의 변환을 위한 다양한 조절 및 장치의 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120110648 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H05H-001/34,B82Y-030/00 |
주제어 (키워드) |