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플라즈마 처리장치

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기관명	NDSL
출원인	재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
출원번호	10-2012-0110649
출원일자	2012-10-05
공개번호	20140417
공개일자	2014-07-04
등록번호	10-1414168-0000
등록일자	2014-06-25
권리구분	KPTN
초록	본 발명의 플라즈마 처리장치는 플라즈마 처리대상소재의 플라즈마 처리를 위한 통과 경로가 반응기 내에서 코일형태의 유전체를 갖도록 하고, 반응기 내로 공급되는 처리대상소재의 공급량을 조절하는 것이 가능하다. 본 발명에 따르면 플라즈마 처리대상소재의 방전처리 노출시간을 증대시킴으로써, 보다 균일하고 일정한 전기적 및 물리적 특성의 변환이 가능한 소재의 생산이 이루어질 수 있도록 할 뿐만 아니라 생산자가 원하는 정도의 전기적 및 물리적 특성의 변환을 위한 다양한 조절 및 장치의 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120110649
첨부파일

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