| 초록 |
본 발명은 과잉의 시간을 들이지 않고, 관찰 이미지 취득 수단의 시야에 관계없이, 맵핑의 관찰 범위와 동일한 시야의 광학적 관찰 이미지가, 위치 어긋남도 수반하지 않고 얻어지는 맵핑 분석 장치를 제공한다. 시료(11)의 표면에 복수 배열된 맵핑 단위 영역으로부터, 방출되는 맵 이미지용 신호를 검출하는 맵 이미지용 신호 검출 수단(X선 검출기)(28)과, 시료(11)의 표면의 광학적 관찰 이미지를 촬상하는 촬상 수단(22)과, 촬상 수단(22)의 출력 신호로부터 광학적 신호가 아닌 부분을 제거하는 신호 보간 추출 회로(23a)와, 맵 이미지용 신호 검출 수단(28) 및 신호 보간 추출 회로(23a)의 출력 신호를 저장하는 화상 메모리(25)와, 시료(11)를 이동시키고, 맵핑 단위 영역을 차례로 주사하는 X-Y 스테이지(12)와, X-Y 스테이지(12)의 움직임에 동기하여 맵 이미지용 신호 검출 수단(28) 및 신호 보간 추출 회로(23a)의 출력 신호를 화상 메모리(25)에 취입시키는 동기 제어 회로(27)를 구비한다. |
