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향상된 효율로 EUV 방사선 또는 소프트 X선을 생성하기 위한 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2011-7016569
출원일자	2011-07-15
공개번호	20110902
공개일자	2016-05-18
등록번호	10-1622272-0000
등록일자	2016-05-12
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 전기적으로 작동되는 방전에 의하여 광학 방사선, 특히 EUV 방사선 또는 소프트 x선을 생성하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.적어도 2개의 전극들(1, 2) 사이의 가스 매질에서 플라스마(15)가 점화되고, 상기 가스 매질은, 방전 공간에서 움직이는 하나 또는 수개의 표면(들)에 도포되며 하나 또는 수개의 펄스 에너지 빔에 의해 적어도 부분적으로 증발되는 액상 재료(6)로부터 적어도 부분적으로 생성된다.제안된 방법 및 장치에서는 상기 표면(들) 상에 각각의 전기 방전의 시간 간격 내에서 적어도 2개의 연속적인 펄스들(9, 18)이 인가된다.이러한 수단에 의해, 각각의 전기 방전 내에서 하나의 단일 에너지 펄스만을 사용하는 것과 비교하여 콜렉팅가능한 변환 효율이 증가된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020117016569
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