| 초록 |
본 발명은 CIGS 박막 태양전지의 연속생산 공정 라인 상에서 실시간으로 CIGS 박막의 물리화학적 특성을 측정할 수 있는 공정제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 CIGS 박막의 일부에 레이저 빔을 조사하여 상기 CIGS 박막으로부터 플라즈마를 발생시키는 레이저 조사부와 상기 플라즈마로부터 발생하는 분광을 검출하는 분광 검출 광학부를 포함하는 헤더; 상기 CIGS 박막의 이동속도 및 이동방향과 동일한 속도 및 방향으로 상기 헤더를 이동시키는 헤더 이송부; 및 상기 분광 검출 광학부에 의해 검출된 분광을 분석하는 분광 분석부를 포함하는 CIGS 박막 물질 분포의 실시간 측정 시스템에 관한 것이다.본 발명의 시스템은 CIGS 박막 태양전지 연속생산 공정에서 실시간으로 CIGS 박막의 물질분포를 측정할 수 있어, CIGS 박막 태양전지의 성능과 품질을 평가함에 소요되는 노력과 시간을 절약할 수 있고, 효율적으로 일정한 품질의 CIGS 박막 태양전지를 생산하는데 유용하게 이용될 수 있다. |
