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산화주석 나노판 복합구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센서

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2010-0125068
출원일자	2010-12-08
공개번호	20120622
공개일자	2013-05-27
등록번호	10-1267116-0000
등록일자	2013-05-16
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 산화주석 나노판 복합구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센서를 제공한다. 본 발명의 산화주석 나노판 복합구조체의 제조방법은, 1) 반응로 내에 반응원료부와 일정거리를 두고 기판을 배치하는 단계; 2) 주석 또는 주석 전구체를 반응원료부에 배치시키고, 반응원료부에 열을 가하여 반응원료를 기상화시키는 단계; 및 3) 상기 단계 2)의 기상화된 반응원료를 불활성 기체를 이용하여 일정한 유량으로 하여 반응원료를 기판으로 이동시켜 나노판 구조체를 제조하는 단계;로 이루어진다. 본 발명의 산화주석 나노판 복합구조체는 그 형태와 크기에 의해 새로운 물리적, 화학적 성질을 나타냄으로써 다양한 응용 소자의 신소재로 활용할 수 있다. 또한 산화주석 나노판 복합구조체는 벌크 및 박막에 비해 매우 큰 표면적을 갖게 되므로 차세대 화학-바이오 센서 소자, 디스플레이 투명전극, 태양전지 등으로의 응용이 가능한 나노소재로서 유용하게 사용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020100125068
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