| 초록 |
본 발명은 레이저를 이용한 전자렌즈의 정렬방법에 관한 것으로서, 종래 기술에 있어서 초소형 전자빔 장치에서 전자렌즈를 여러 층으로 정렬할 때에 고배율 광학현미경 또는 얼라이너(aligner) 등의 장비를 활용하여 정렬하는 방법들은 고가 장비를 구입해야 하고, 정렬도는 현미경과 얼라이너의 분해능에 의해 결정되는 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 초소형 전자빔 장치에 있어서 다양하고 매우 작은 핀 홀(pin hole) 형태의 전자렌즈를 정밀하게 일직선으로 정렬하는데 있어 각각의 사각 또는 원형 박막(membrane)의 중앙에 위치한 전자렌즈 주변에 기준으로 사용할 표시구멍을 레이저를 이용하여 발생하는 간섭무늬를 해석하여 정렬하는 레이저를 이용한 미세 홀의 정렬방법을 사용함으로써, 파동광학에 기초하여 일정한 위상(phase)을 가진 레이저빔이 일정 모양의 구멍(aperture)을 통과할 때에 형성되는 회절패턴(diffraction pattern)과 정밀 선형위치조정장치 등의 상대적으로 간단한 장비를 활용하여 첨단 기술의 습득이 필요 없이 정밀하게 홀이 구성된 박막 판들을 여러 층으로 정밀하게 정렬할 수 있도록 하는 등의 효과가 있다. |
