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특허/실용신안
양면형 그래핀 제조장치 및 제조방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 에스 알 씨 주식회사 |
| 출원번호 | 10-2012-0073068 |
| 출원일자 | 2012-07-04 |
| 공개번호 | 20130308 |
| 공개일자 | 2013-02-28 |
| 등록번호 | 10-1238450-0000 |
| 등록일자 | 2013-02-22 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 그래핀 제조장치가 개시된다. 본 발명에 따른 그래핀 제조장치는, 2겹으로 겹쳐진 촉매기판의 재결정 온도 이상의 어닐링 온도가 유지되도록 하는 제1가열부와, 탄소 원자량 이상의 분자량을 가지는 기체 분위기가 형성되도록 상기 촉매기판의 양쪽 면에 스텝용가스를 공급하는 제1노즐이 형성되어, 촉매기판에 스텝구조가 형성되도록 하는 스텝형성챔버; 및 600 ~ 1100 ℃ 온도가 유지되도록 하는 제2가열부와, 스텝형성챔버를 거친 촉매기판의 양쪽 면에 탄화수소 기체를 공급하는 제2노즐이 형성되는 증착챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 2겹으로 겹쳐진 촉매기판 양쪽에 그래핀이 형성되도록 하여 생산성이 증가하고 증착챔버 이전에 스텝형성챔버를 구비하여 그래핀 형성에 앞서 촉매기판 전체면에 나노 단위의 스텝(step)이 형성되도록 함으로써, 전구체 가스(탄화수소)의 물리흡착이 용이하게 되어 촉매작용을 촉진하며 균일 핵생성과 증착시간 단축효과를 얻을 수 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120073068 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C01B-031/02,B01J-019/26,B01J-003/03 |
| 주제어 (키워드) |