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X선 박막 검사장치와, 프로덕트 웨이퍼의 박막 검사장치 및 그 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 리가쿠
출원번호	10-2005-0100807
출원일자	2005-10-25
공개번호	20080509
공개일자	2012-07-04
등록번호	10-1162375-0000
등록일자	2012-06-27
권리구분	KPTN
초록	프로덕트 웨이퍼 등의 검사 대상을 배치하는 시료대와 시료대를 이동하는 위치결정기구와 제1,제 2 선회 암을 구비한 고니오메터와 제 1 선회아암에 탑재되고, 또한 실드 튜브내에 X선관 및 X선 광학소자를 내장한 적어도 한 개의 X선 조사 유닛과 제 2 선회아암에 탑재된 X선 검출기와, 시료대에 배치된 검사 대상을 화상 인식하기 위한 광학 카메라를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020050100807
첨부파일

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