| 초록 |
본 발명은 광 방사, 특히 극자외선(EUV) 방사 및/또는 소프트 X선을 발생시키고, 방사 소스(2)의 방사 경로 내의 광학 표면들에 퇴적할 수 있는 원치 않는 물질들 및/또는 입자들을 방출하는 상기 방사 소스(2)와 함께 사용하기 위한 파편 경감 장치, 및 대응하는 구동 어셈블리에 관한 것이다.상기 파편 경감 장치는 적어도 하나의 회전하는 포일 트랩(5) 및 상기 구동 어셈블리를 포함한다.상기 구동 어셈블리는 구동 모터(14) 및 상기 회전하는 포일 트랩(5)이 고정되는 구동 축(10)을 포함한다.상기 구동 모터(14) 및 상기 구동 축(10)을 지지하는 베어링들(13)은 상기 구동 축(10)을 위한 구멍 및 밀봉 가스를 위한 적어도 하나의 출구 개구(21)를 갖는 케이싱(20) 안에 넣어진다.상기 출구 개구(21)는 상기 밀봉 가스를 펌핑 배출하기 위한 펌프에 연결 가능하다.상기 구멍은 상기 구동 축(10)과 상기 케이싱(20) 사이에 갭(23)을 정의하도록 설계되고, 상기 갭(23)은 상기 갭(23)을 통하여 상기 케이싱(20) 안으로 상기 밀봉 가스를 공급하기 위한 공급 파이프(19)에 연결된다.제안된 파편 경감 장치는 그 파편 경감 장치가 이용되는 진공실의 오염의 위험 없이 종래의 구동 모터들 및 기름이 쳐진 베어링들의 사용을 허용한다.이 결과 구동 어셈블리의 서비스 수명이 향상된다. |
