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마이크로-전자기계 시스템들(MEMS) 기술에 의해 제조되는 마이크로유체-채널 내장형 측방 진동 중량 센서 장치

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2012-7007204
출원일자	2012-03-20
공개번호	20120615
공개일자	2014-03-06
등록번호	10-1369941-0000
등록일자	2014-02-26
권리구분	KPTN
초록	측방 진동 중량 감지 장치의 표면 위에 부착된 질량의 변화를 측정하여 생물학적 세포들 및 분석물들을 검출하고, 마이크로-유체 채널들에 내장할 수 있고 마이크로-전자 기계 시스템들(MEMS) 기술로 제조되는 측방 진동 중량 감지 장치는, 4개의 주요 그룹들, 즉 채널의 기저(basis) 위에 배치될 수 있는 공진기, 공진기 바이오-활성의 구성요소들, 마이크로 유체 채널, 및 마이크로가공 기술들로 구성되며, 그것의 주 구성요소들은 프루프 매스(1), 프루프 매스에 고정되는 콤 핑거들(2), 폴디드 스프링 빔들(3), 채널 바닥 및 메카니컬 소일(mechanical soil; 4), 고정 전극들(5), 고정 전극들(6)에 부착된 콤 핑거들, 매스(7) 위에 증착되는 금 필름, 고정된 생물학적 인식 분자들(8) 및 공진기 구조(9) 위에 배치된 마이크로 유체 채널이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020127007204
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