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시료검사장치 및 시료검사방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 호리바 세이샤쿠쇼
출원번호	10-2011-0070873
출원일자	2011-07-18
공개번호	20120210
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	복수 종류의 계측방법을 조합함으로써, 검사 가능한 시료를 제한하지 않는 시료검사장치 및 시료검사방법을 제공한다. 시료검사장치는, 입사부(11), 반사광 수광부(12) 및 분석부(13)(엘립소미터부)와, X선원(21), 형광X선 검출부(22) 및 분석부(23)(X선 측정부)와, 레이저광원(31), 빔분할기(34), 라만 산란광 검출부(32) 및 분석부(33)(라만 산란광 측정부)를 구비한다. 시료(6)에 대응한 적절한 수법을 이용하여 시료의 두께의 계측이 가능하다. 또한 엘립소미트리 및 형광X선 분석을 조합함으로써, 시료(6)의 두께와 굴절률 등의 광학특성을 독립하여 계측할 수 있다. 또한 시료(6)가 다층 시료인 경우는 각 층을 적절한 수법으로 검사할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020110070873
첨부파일

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