기상 증착 장치
기관명 | NDSL |
---|---|
출원인 | 한국과학기술원 |
출원번호 | 10-2014-0051826 |
출원일자 | 2014-04-29 |
공개번호 | 20151112 |
공개일자 | 2015-11-06 |
등록번호 | 10-1563341-0000 |
등록일자 | 2015-10-20 |
권리구분 | KPTN |
초록 | 본 발명의 실시 형태에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 배치된 챔버(chamber); 상기 챔버의 공정 온도를 조절하는 온도 조절부; 상기 기판 또는 무기막 상에 유기막을 증착시키는 유기막 증착부; 상기 기판 또는 유기막 상에 무기막을 증착시키는 무기막 증착부; 및 상기 챔버와 연결되고, 상기 챔버 내의 공정 압력을 조절하는 압력 조절부; 를 포함하고, 상기 유기막 및 상기 무기막이 하나의 상기 챔버 내에서 증착물의 이동, 진공 상태의 변화없이 다중 복합 유무기막을 형성시킨다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140051826 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-051/56,H01L-021/02,H01L-021/205 |
주제어 (키워드) |