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막 두께 측정방법

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기관명	NDSL
출원인	삼성전자주식회사
출원번호	10-2006-0007277
출원일자	2006-01-24
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	막 두께 측정 방법은, 먼저 비파괴 방식인 측정 장치를 이용하여 얼라인 패턴과 측정 사이트를 갖는 웨이퍼 상에 형성된 막의 두께를 측정하기 위하여 상기 웨이퍼를 얼라인한다. 이어서 상기 측정 사이트에 광을 조사한다. 계속하여 상기 웨이퍼로부터 반사된 광의 위상차 및 반사도 비율을 측정하여 스펙트럼을 획득한다. 다음에 상기 스펙트럼과 모델링된 스펙트럼과 비교 분석하면서 상기 막의 두께 데이터와 상기 두께 데이터의 신뢰도를 나타내는 지수로서 GOF 값을 산출한다. 이어서 상기 두께 데이터와 상기 GOF 값을 규격값과 비교한다. 계속하여 상기 비교 결과가 규격값에 벗어나는 이상이 발생될 경우에 상기 웨이퍼를 대기시키고 않고 상기 측정 단계들을 반복하면서 상기 이상의 원인을 파악한다. 이로써, 이상 발생 시 기다리는 시간 없이 실시간으로 상기 이상의 원인을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020060007277
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