| 초록 |
본 발명은 액체 타겟을 이용하여 X선(1~10NM) 및 극자외선(EUV,10~20NM) 영역의 파장의 빛을 발생하는 장치에 관한 것으로, 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 일 측면에 장착되어 있는 진공 배기계; 상기 진공 챔버의 일 측면에 장착되어 진공 챔버 내부에 레이저 빔을 공급하는 레이저 공급 장치; 상기 진공 챔버의 일 측면에 장착되어 상기 레이저 빔이 조사되는 액체 타겟을 상기 진공 챔버 내부로 공급하는 액체 제트 공급 장치; 및 상기 진공 챔버 내부로 공급된 액체 타겟을 흡입하는 액체 제트 흡입 장치;를 포함하고, 상기 액체 제트 공급 장치는, 실리카 재질이고, 일단이 점차 뾰족해져 관 끝의 직경이 5내지 20 마이크로미터이며, 상기 진공 챔버 내부에서 액체 제트를 형성시키는 모세관: 상기 모세관을 내부에 포함하는 카트리지; 상기 모세관에 액체 타겟을 공급하는 액체 타겟 공급관을 내부에 포함하는 냉각관; 상기 액체 타겟 공급관과 상기 모세관을 결합시키는 피크(PEEK) 유니온; 상기 카트리지와 상기 냉각관을 결합시키기 위한 결합구; 상기 냉각관의 일 측면 외부에 위치하고 있는 냉각관 보온벽; 냉각 용매를 상기 냉각관의 내부로 공급하는 냉각 용매 공급관; 기화된 냉각 용매를 상기 냉각관의 외부로 배출하는 냉각 용매 배출관; 및 상기 냉각관 보온벽의 내부에 위치하는 액체 타겟 공급관에 장착되어, 공급되는 타겟에 포함된 이물질을 걸러내는 마이크로 필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 타겟을 이용한 X선 및 극자외선 광원 발생장치를 제공한다.본 발명에 의하면 고체 타겟을 사용한 X선 및 극자외선 광원 발생장치에 포함된 고체 타겟을 회전 또는 이동시키기 위한 구동 메커니즘이 불필요하고, 타겟을 교체해야 하는 불편함이 제거되며, 파편의 발생이 원천적으로 방지되어 주변에 위치한 고가의 광학기기, 진공 챔버, 금속 박막 필터 등이 코팅되는 문제를 해결할 수 있다. 또한, 액체 금속을 포함한 다양한 액체 타겟 및 그 내부에 포함될 수 여러 가지 나노입자의 사용이 가능하여 X선 및 극자외선 영역의 파장의 세기가 강한 빛을 만들 수 있다. |
