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복합 알칼리 토류금속 산화물

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기관명	NDSL
출원인	우베 마테리알즈 가부시키가이샤
출원번호	10-2011-0066881
출원일자	2011-07-06
공개번호	20120127
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 산화마그네슘과 산화마그네슘 이외의 알칼리 토류금속 산화물을 포함하면서도 흡습성이 낮고, 또한 전자빔 증착법이나 스퍼터링법 등의 물리적 기상 성장법에 의해 2 차 전자 방출 계수가 높은 막을 제조할 수 있는 성막용 재료를 제공한다. (해결 수단) 산화마그네슘과 산화마그네슘 이외의 알칼리 토류금속 산화물을, 마그네슘과 마그네슘 이외의 알칼리 토류금속의 몰비로서 98:2∼80:20 의 범위가 되는 비율로 포함하고, 상대 밀도가 95.0∼99.9 % 의 범위에 있는 복합 알칼리 토류금속 산화물로서, 추가로 가수가 3 가, 4 가 또는 5 가 중 어느 것인 적어도 하나의 금속 원소의 산화물을, 상기의 알칼리 토류금속 1 몰에 대해, 그 금속 원소의 양으로서 0.0002∼0.1 몰의 범위가 되는 양으로 함유하는 복합 알칼리 토류금속 산화물.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020110066881
첨부파일

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