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고 공간해상도를 가지는 아크로메틱 분광 타원분석기

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기관명	NDSL
출원인	호리바 조뱅 이본 에스.아.에스.
출원번호	10-2004-7020548
출원일자	2004-12-17
공개번호	20080609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 자외선(UV)에서 적외선(IR)까지의 광범위한 파장에 걸쳐 시료(1)의 작은 영역을 분석하는 아크로메틱 분광 타원분석기에 관한 것이다. 분광 타원분석기는 광빔(3)을 방출하는 광원(2)을 포함한다. 광빔(3)은 제 1 포물면 거울(5)에 의해 입사각 Q로 초점이 맞추어지기 이전에 편광 상태 발생부(4)를 통해 시료(1)의 작은 점으로 진행한다. 제 2 포물면 거울(6)은 반사된 빔(16)을 모아서 상기 빔을 분석부(7)로 이어준다. 반사빔(16)은 분석부(7)에서 나와 상기 빔을 검출하여 분광학적으로 분석하는 수단(8)으로 진행한다. 본 발명에 따르면, 편광 상태 발생부(4)를 통해 제 1 포물면 거울(5)에 이르는 광빔(3)과 제 2 거울(6)에서 분석부(7)를 통한 광빔은 평행 가능 소색성 광빔이다. 입사각 Q은 시료 표면에서 작은 점의 위치를 변경시키지 않고 크게 변화된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020047020548
첨부파일

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