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논문 기본정보
기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 기술
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 기계저널 : 大韓機械學會誌 |
| ISSN | 1226-7287, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 김재현,장봉균,이학주 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2016-01-01 |
| 초록 | 이 글에서는 나노박막의 역학적 거동 및 파괴 거동의 이해를 기초로, 기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 공정, 장비 및 이의 응용에 관해 설명한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201614138121680 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) |