| 저자(한글) |
CAI, Ming-xia,ZHANG, Chao-yang,JIANG, Yu-jia,SU, Chun,FENG, Qin-yu,HUANG, Lei |
| 초록 |
국부적 전기화학적 퇴적(localized electrochemical deposition) 가공시스템에 나노초 펄스 레이저(Nanosecond pulse laser)를 도입하고, 레이저 방사와 국부적 전기화학적 퇴적 방법을 이용하여, 구리에 대해 3차원 미세구조의 퇴적 실험을 진행하였다. 레이저의 열역학적 효과가 국부적 전기화학적 퇴적에 대한 작용 메커니즘을 분석하였다. 레이저 보조 국부적 전기화학적 퇴적의 실험 시스템을 구축하였으며, 퇴적 실험을 진행하였다. 또한 주사전자현미경(Scanning electron microscope, SEM)과 X선 회절 에너지분산형 크로마토그래피를 이용하여 전기퇴적체를 검출하였다. 실험 결과, 레이저 보조 국부적 전기화학적 퇴적은 일반 국부적 전기화학적 퇴적에 비해 국소성이 양호하였다. 레이저 에너지의 증가에 따라 퇴적체의 가로·세로비는 증가하였고 국소성은 개선되었다. 동시에 레이저로 음극 불순물의 흡착을 줄여서 퇴적체의 순도를 향상시킬 수 있었다. |
