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논문 기본정보

초정밀 듀얼 스테이지를 위한 고댐핑 저진동 제어기 개발

논문 개요

기관명, 저널명, ISSN, ISBN 으로 구성된 논문 개요 표입니다.
기관명 NDSL
저널명 한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
ISSN 2233-6036,2383-4846
ISBN

논문저자 및 소속기관 정보

저자, 소속기관, 출판인, 간행물 번호, 발행연도, 초록, 원문UR, 첨부파일 순으로 구성된 논문저자 및 소속기관 정보표입니다
저자(한글) 강석일,김정한
저자(영문)
소속기관
소속기관(영문)
출판인
간행물 번호
발행연도 2016-01-01
초록 In this study, a cross-damped low vibration controller was developed to reduce vibration in ultra-precision dual stage driven by master/slave principle. In master-slave structure, the master stage leads the driving motion and the slave stage follows it so as to maintain a constant gap between two stages. In this structure, a small perturbation of master stage makes big oscillations in slave servoing stage, so a low damped master stage composed of voice coil motor makes a long vibration in settling area after driving motion profile. In this research, an effective feedback damping algorithm for increase the damping characteristics of the dual stage was developed. The designed velocity damping algorithm improves the system stability and reduces the settling time of the whole system. Simulation and experimental results show that the developed algorithm reduces settling time and improves the regulating performance.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201610254116501
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류,DDC 분류,주제어 (키워드) 순으로 구성된 추가정보표입니다
과학기술표준분류
ICT 기술분류
DDC 분류
주제어 (키워드) Dual stage,Low vibration,Velocity loop,Damping control,Master-slave