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논문
논문 기본정보
서로 다른 레진 두께를 갖는 유리/레진/유리샌드위치 구조의 파괴거동
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A |
| ISSN | 1226-4873, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 박재홍,이유진,김태우,임홍재,이기성 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2010-01-01 |
| 초록 | 유리/레진/유리의 샌드위치 구조는 자동차, 바이오, 디스플레이 산업 등에서 이미 상용화되고 있는 구조이다. 이러한 유리/레진/유리의 샌드위치 구조는 최근 반도체, MEMS분야 등에서 대량생산기술로 관심을 일으키고 있는 임프린트 리소그래피 공정에서도 다루어지고 있다. 나노 임프린트 공정 기술은 몰드의 마이크로, 나노패턴을 기판에 반복적으로 전사함으로써 반도체 제조공정에서 5나노미터(nm) 이하의 선폭까지 구현할 수 있는 기술이다. 이 과정에서 사용되는 레진은 패터닝된 몰드에 의해 변형되고 UV(Ultraviolet rays)에 의해 경화되어 패턴의 전사과정을 거친다. 이 때 몰드와 기판의 이형거동은 나노 단위의 정밀한 정렬과 공정의 생산성과 직결된다. 따라서 본 연구에 서는 4점 굽힘 실험을 통해 유리/레진/유리 구조의 굽힘 강도를 측정하였고, 특히 이 과정에서 계면해방률을 도출함으로써 나노 임프린트 공정 시 몰드와 레진 층의 이형거동을 기계적 측면에서 고찰하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201001039067264 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | 나노임프린트 리소그래피,4점굽힘실험,레진,유리,파괴,계면 해방률,계면에너지,균열 굴절,Nanoimprint Lithography,4-Point Bending Test,Resin,Glass,Fracture,Interface Release Rate,Interfacial Energy,Crack Deflection |