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논문 기본정보
Study on Microstructure and Properties of W-Ti-N Composite Films with Different Titanium Content
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 材料工程 = Journal of materials engineering |
| ISSN | 1001-4381, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | ZHAO, Shu-fang,YU, Li-hua,MA, Bing-yang,XU, Jun-hua |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2014-01-01 |
| 초록 | 다중 표적의 반응성 마그네트론 스퍼터링 기법(reactive magnetron sputtering technique)을 사용하여 서로 다른 Ti 함량을 가진 W-Ti-N 복합막(composite film)을 제조하였다. X선 회절기, 주사전자현미경, 나노인덴테이션(nano-indentation) 등 검측법을 사용하여 박막의 미세 구조(microstructure)와 역학적 성능(mechanical property)을 묘사하였다. UMT-2 기능이 있는 마찰 시험기를 이용하여 실온, 대기 환경, 윤활유가 없는 조건에서 W-Ti-N 복합막의 마찰 성능(tribological property)을 평가하였다. 그리고 박막의 경화 메커니즘과 마찰 메커니즘을 논의하였다. 실험 결과: Ti 함량(원자 분율)이 5%~23.48%일 때 박막의 경도는 피크 영역에 있었다. 경도의 최고치가 39GPa에 달했으며 마찰 계수(Friction factor)가 약 0.4이었다. Ti 함량이 23.48% 이상일 때 경도는 Ti 함량이 증가함에 따라 감소하였고, 마찰 계수는 Ti 함량이 증가함에 따라 증가하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=NART75844445 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | magnetron sputtering,W-Ti-N composite film,microstructure,mechanical property,tribological property,마그네트론 스퍼터링,W-Ti-N 복합막,미세구조,역학적 성능,마찰 성능 |