GMR-SV 소자를 이용한 미크론 자성비드와 결합된 적혈구 검출 특성 연구
기관명 | NDSL |
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저널명 | 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean magnetics society |
ISSN | 1598-5385, |
ISBN |
저자(한글) | 이재연,김문종,이상석,이진규 |
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저자(영문) | |
소속기관 | |
소속기관(영문) | |
출판인 | |
간행물 번호 | |
발행연도 | 2014-01-01 |
초록 | Dc 마그네트론 스퍼터링법으로 자기저항비 5.0 %와 자장감응도 1.5 %/Oe를 갖는 glass/Ta(5.8 nm)/NiFe(5 nm)/Cu(2.3 nm)/NiFe(3 nm)/IrMn(12 nm)/Ta(5.8 nm) 다층구조 GMR-SV 박막을 증착하였다. 광 리소그래피 공정으로 적혈구 직경 크기인 $7{ mu}m{ sim}8{ mu}m$ 이내의 선폭인 GMR-SV 소자를 제작하였다. 직경 $1{ mu}m$ 크기인 여러 개의 자성비드가 결합된 적혈구를 자기저항비 1.06 % 자장감응도 0.3 %/Oe를 갖는 GMR-SV 소자에 떨어뜨려 -0.6 Oe 부근에서 약 $0.4{ Omega}$ 과 약 0.15 %의 변화를 관찰하였다. 본 연구로부터 미크론 크기의 선폭을 갖는 GMR-SV 소자가 자성비드를 결합한 적혈구내 헤모글로빈의 새로운 자성 특성을 분석하는 바이오센서로 활용할 수 있음을 보여주었다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201426059106114 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
DDC 분류 | |
주제어 (키워드) | 적혈구,자성비드,GMR-SV 소자,자장감응도,바이오센서,광 리소그래피,RBC (red blood cell),magnetic bead,gaint magnetoresistance-spin valve (GMR-SV) device,magnetic sensitivity,biosensor,photo lithography |