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논문 기본정보
IBASD법으로 제조된 BNN 박막의 결정화 및 전기적 특성
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17 |
| ISSN | , |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 우동찬,정성원,이희영,조상희 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2004-01-01 |
| 초록 | [ $Ba_2NaNb_5O_{15}$ ]은 orthorhombic tungsten bronze 결정구조를 갖는 강유전체로서, 단결정의 경우 $LiNbO_3$ 에 비해 우수한 비선형 전광계수 값을 나타내는 것으로 알려져 있으며, 또한 주목할만한 초전, 압전, 강유전특성을 나타내고 있다. 본 연구에서는 다른 강유전체박막에 비하여 상대적으로 연구가 덜 이루어진 BNN 박막을 세라믹 타겟을 사용하여 이온빔 보조 증착법을 사용하여 제조하였으며, $Ar/O_2$ 분위기에서 증착된 BNN 박막에 대한 결정화 및 배향 특성을 고찰하였고, 이에 따른 전기적 특성의 변화를 살펴보았다. 연구에 사용된 기판은 $Pt(100)/TiO_2/SiO_2/Si(100)$ 이었으며, 이온빔 보조 증착법에서 보조 이온빔의 에너지를 $0{ sim}400eV$ 로 변화 시키며 BNN 박막을 증착한 후, 열처리하였다. BNN 박막의 전기적 특성은 MFM 박막 커패시터의 형태로 제조하여 강유전 특성에 대해 살펴보았다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NPAP&cn=NPAP08119844 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | BNN thin film,IBSD,IBASD,orthorhombic tungsten bronze,assisted ion beam energy |