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논문 기본정보

습식 공정법에 의한 바이오칩 용 패터닝 기판 제조

논문 개요

기관명, 저널명, ISSN, ISBN 으로 구성된 논문 개요 표입니다.
기관명 NDSL
저널명 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology
ISSN 1225-1429,
ISBN

논문저자 및 소속기관 정보

저자, 소속기관, 출판인, 간행물 번호, 발행연도, 초록, 원문UR, 첨부파일 순으로 구성된 논문저자 및 소속기관 정보표입니다
저자(한글) 김진호,이민,황종희,임태영,김세훈
저자(영문)
소속기관
소속기관(영문)
출판인
간행물 번호
발행연도 2009-01-01
초록 LPD법을 이용하여 유리 기판 위에 발수/친수 패터닝 기판을 제조하였다. 발수 표면은 거친 표면을 갖는 ZnO 박막을 FAS를 이용한 표면 개질에 의하여 만들어졌고, 친수 표면은 자외선을 조사하여 FAS를 제거함으로써 만들어졌다. Hexagonal ZnO rod는 LPD법에 의하여 ZnO seed 층이 코팅된 유리 기판 위에 수직으로 성장되었다. 침적시간이 증가함에 따라 ZnO rod의 직경과 두께는 증가하였다. 제조된 ZnO 박막의 표면구조, 두께, 결정구조, 투과율과 접촉각은 FE-SEM, XRD, UV-vis와 contact angle meter를 이용하여 측정하였다. $20^{ circ}{ sim}30^{ circ}$ 의 접촉각을 갖는 친수 ZnO 박막은 FAS 표면 처리에 의해 $145^{ circ}{ sim}161^{ circ}$ 의 접촉각을 갖는 표면으로 바뀌었다. 제조된 발수 표면은 $300 ;{ mu}m$ , 3 mm의 dot size를 갖는 shadow mask를 이용하여 자외선을 조사하여 패터닝 되었다. 최종적으로 자외선이 조사된 발수 표면은 친수 표면으로 바뀌었다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO200912368300154
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류,DDC 분류,주제어 (키워드) 순으로 구성된 추가정보표입니다
과학기술표준분류
ICT 기술분류
DDC 분류
주제어 (키워드) ZnO thin film,Hydrophobic/hydrophilic surface,LPD,Biochip