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논문 기본정보
원자 현미경을 이용한 나노 스케일 상변화 연구
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 새물리 = New physics |
| ISSN | 0374-4914,2289-0041 |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 김준호,송기봉 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2008-01-01 |
| 초록 | 우리는 원자 현미경 (AFM)을 이용하여 칼코지나이드 상변화 물질인 Ge 2 Sb 2 Te 5 (GST) 박막의 상변화 특성을 조사하였다. GST는 RF 스퍼터링 방법으로 200 ~ 300 nm 두께로 증착하였다. 증착된 GST 박막은 비정질 상태이고, 열처리 과정을 통해서 면심입방 (fcc) 구조와 조밀육방 (hcp) 구조로 결정상이 변하는 것을 확인하였다. AFM을 통한 전류-전압 특성을 통해서 비정질에서 결정질로 전이될 때 임계 전압이상에서 결정질로 스위칭이 일어나는 특성을 관찰하였다. 그리고, AFM 나노리소그래피를 이용하여서 나노 스케일의 결정화 실험을 수행하였으며, 토포그래피 이미지 (T-image)와 전기전도 이미지 (C-image)를 동시에 얻었다. 대개 C-image의 나노 와이어의 크기가 T-image 크기에 비해서 크게 관찰되었으며, 이것은 결정화가 일어날 경우 큰 전기 전도도 증가에 원인을 찾을 수 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=NART50288854 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | 상변화,AFM,결정화,PRAM,Ge lt,SUB gt,2 lt,/SUB gt,Sb lt,SUB gt,2 lt,/SUB gt,Te lt,SUB gt,5 lt,/SUB gt,. Phase change,AFM,Crystallization,PRAM,Ge lt,SUB gt,2 lt,/SUB gt,Sb lt,SUB gt,2 lt,/SUB gt,Te lt,SUB gt,5 lt,/SUB gt |