플라즈마 중합으로 코팅된 콘덴서 케이스 전기 절연박막의 내구성에 관한 연구
기관명 | NDSL |
---|---|
저널명 | 폴리머 = Polymer (Korea) |
ISSN | 0379-153x,2234-8077 |
ISBN |
저자(한글) | 김경환,송선정,임경택,김경석,이휘지,김종호,조동련 |
---|---|
저자(영문) | |
소속기관 | |
소속기관(영문) | |
출판인 | |
간행물 번호 | |
발행연도 | 2009-01-01 |
초록 | Hexamethyldisiloxane(HMDSO)+ $O_2$ 를 플라즈마 중합시켜 알루미늄 판과 알루미늄 콘덴서 케이스 표면에 전기 절연박막을 코팅하였다. 코팅된 박막들은 두께가 0.5 ${ mu}m$ 이상이면 박막의 종류에 상관없이 1.0 M $ Omega$ 이상의 저항 값을 보였으며, 박막의 표면 형태 및 접착력은 플라즈마의 공정조건에 따라 달라졌다. 박막의 증착속도 및 접착력은 $O_2$ /HMDSO 유량비와 방전전력에 따라 달라졌으며, 유량비가 4이고 방전전력이 60 W일 때 가장 좋은 결과를 보였다. 집착력은 또한 알루미늄을 끓는 물에서 30분간 전처리한 경우에 박막과 알루미늅 표면 사이에 Al-O-Si 결합을 형성하면서 크게 향상되었다. 이렇게 코팅된 박막은 우수한 내약품성과 내열성을 지니고 있었다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO200920549299438 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
DDC 분류 | |
주제어 (키워드) | electric insulation layer,plasma polymerization,durability,adhesion strength,chemical and thermal resistance |