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논문 기본정보
Laser Ablation Mechanism of Cu(Ni80Cr20)-Ceramic Composite Body
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 宇航材料工藝 = Aerospace materials technology |
| ISSN | 1007-2330, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | WEI, Bo,WANG, Rui,WU, Gan,YANG, Jian-ping |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2015-01-01 |
| 초록 | 세라믹 기판과 금속 박막 일체화 부품에 대한 레이저 미세 가공 정밀도 문제를 해결하기 위해 나노초(nanosecond) 펄스 레이저를 이용한 Cu(Ni 80 Cr 20 )-Al 2 O 3 복합체 박막/기판 계면 분리 메커니즘을 연구하였다. 연구 결과, Cu에 대한 레이저 식각(laser ablation) 과정에서 레이저 점이 경과한 지역의 Cu는 완전히 기화되어 반질반질한 형상을 얻을 수 있었다. 그러나 Ni 80 Cr 20 에 대한 레이저 식각 과정에서 레이저 점이 경과한 지역에 질소화가 먼저 발생하였고 뒤이어 질화물 층이 분리되었다. 이런 원인으로 가공 부위의 가장자리는 거칠었다. 레이저 점 에너지의 가우스 분포(gaussian distribution)는 불균일한 Ni 80 Cr 20 질소화를 초래하였고 이는 가공 정밀도에 영향을 미치는 주요 요인이었다. 웨이브프론트 회절 변환(wavefront diffraction transform) 기술을 사용하여 레이저 점 에너지의 가우스 분포를 납작(flattened) 분포로 전환하였다. 레이저 에너지가 5.4 mJ 보다 클 때 4 μm 두께의 Ni 80 Cr 20 층은 균일하게 질소화되어 분리되었다. 이렇게 하여 Ni 80 Cr 20 -Al 2 O 3 복합체에 대한 고정밀도 가공을 달성하였고 기판은 손상되지 않았다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=NART75842522 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | Pulsed laser,Laser ablation,Composite body,Mechanism,펄스 레이저,레이저 식각,복합체,물리적 메커니즘 |