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논문 기본정보
폴리디메틸실록산(PDMS)을 이용한 그래핀 전사법 개선을 위한 계면처리 연구
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 한국유화학회지 = Journal of the Korean oil chemists` society |
| ISSN | 1225-9098,2288-1069 |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 한재형,최무한 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2015-01-01 |
| 초록 | 화학기상증착법(CVD)을 이용하여 Cu-foil 위에 합성된 대면적의 단층 그래핀(Graphene)을 폴리머 탄성융합체 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 이용하여 건식으로 전사하는 기술을 연구하였다. 이때, $UV/O_3$ 처리를 통해 목표 기판(target substrate)의 표면 개질을 변화시켜 그래핀의 손상이 최소화되로록 그래핀을 전사하였다. 이 과정을 반복 실행하여 그래핀을 다층(1~4 layers)으로 $SiO_2/Si$ 기판 위에 적층하였으며, 전사된 다층 그래핀의 품질평가를 위하여 광투과율과 면저항의 변화를 측정하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201523343149019 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | 그래핀,건식 전사법,표면 개질,폴리디메틸실록산,표면에너지,graphene,dry transfer method,surface modification,polydimethylsiloxane,surface energy |