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논문 기본정보
UV 임프린트 공정을 이용한 평판형 광도파로 기반의 집적형 분광 모듈 제작
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society |
| ISSN | 1226-9360, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 오승훈,정명영,김환기,최현용 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2015-01-01 |
| 초록 | 본 논문에서는 저가로 쉽게 제작할 수 있는 구조를 지닌 단일칩 형태의 고분자 기반 평판형 분광모듈을 제안하였다. 제안된 분광모듈은 UV 임프린트 기법에 의해 제작되어진 비등간격 나노회절격자와 오목거울이 포함된 평판형 광도파로로 구성되어진다. 회절효율을 향상시키기 위해 나노회절격자의 구조는 $25^{ circ}$ 의 블레이징 각도와 100nm의 선폭을 가지도록 설계, 제작되었다. 평판형 분광모듈은 700 nm 대역폭과 10 nm 분해능을 가짐을 확인하였다. 이러한 집적형 고분자 분광모듈은 다양한 센서 시스템에 적용될 수 있을 것으로 기대된다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201534168451863 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | Spectrometer module,UV imprint lithography,Nano diffraction grating,Planar optical waveguide |