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논문 기본정보
Suspension stiffness of micromachined electrostatically suspended accelerometers
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 中國慣性技術學報 = Journal of Chinese Society of Inertial Technology |
| ISSN | 1005-6734, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | HAN, Feng-tian,WU, Qiu-ping,SUN, Bo-qian,ZHANG, Han-zheng,MA, Gao-yin |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2014-01-01 |
| 초록 | 정전기 가속도계(electrostatic accelerometer)는 대역폭(bandwidth)과 측정 범위를 감소시키는 것을 통하여 공간의 마이크로 중력(micro-gravity) 환경에서 아주 높은 해상도를 실현할 수 있다. 본 논문은 유리-규소-유리 “샌드위치(sandwich)” 구조, 평행 6면체 형태의 무게 검사(parallelepiped proof mass), 벌크-규소(bulk silicon) 가공 공법을 이용하여 규소 미세 가공 가속도계(micromachined accelerometer)를 설계하였으며, 또한 정전 지지(electrostatic suspension) 회로의 전형적 강도 특성(stiffness characteristics) 및 제어 파라미터(control parameters) 사이의 관계식(relationships)을 유도하여 토론하였다. 그리고 DSP 기반의 디지털 제어 장치(digital control scheme)를 이용하여 무게 감응식 안정한 6 자유도(six degrees of freedom) 지지 시스템을 실현하였으며, 또한 대기 환경 조건에서 정전 지지(electrostatic suspension) 회로의 주요 기능을 측정하였다. 분석 및 측정 결과, 지지 시스템의 대역폭 범위에서 지지 강도(suspension stiffness) 특성과 제어 장치 파라미터 및 기체막 감쇠 지수(gaseous film damping factor)는 밀접한 관련성이 있었으며, 또한 허용 전압(allowable voltage) 변화는 비교적 큰 범위에서 가속도계의 측정 범위와 지지 강도 등 지표를 조절할 수 있었다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=NART71006394 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | MEMS,micromachined accelerometer,space electrostatic accelerometer,electrostatic suspension,suspension stiffness,MEMS,미세 가공 가속도계,공간 정전기 가속도계,정전 지지,지지 강도 |